Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Metallfreie UPW-Polierlösungen

Entwickelt für die Entfernung von TOC und H2O2 für ultrareine Ergebnisse

Die kompromisslose Antwort darauf, was Betreiber von Halbleiterwerken von UPW-Polieranlagen erwarten können.

Die heutigen integrierten Schaltkreise sind so komplex, dass selbst kleinste Verunreinigungen das Endprodukt beeinträchtigen können. Das Ziel von Ovivo by Ecolab war schon immer, alle potenziellen Kontaminationsquellen zu beseitigen.​​​​​​​

Programmdetails

Durch die Verwendung hochreiner Materialien wie spezielles PVDF-HP-Granulat oder Halar® E-CTFE können die metallfreien UPW-Poliersysteme von Ovivo by Ecolab einen Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff (TOC) von weniger als 1 ppb und Wasserstoffperoxid (H2O2) von weniger als 10 ppb erreichen.

Beinhaltet ein Reinigungsverfahren in Halbleiterqualität für alle benetzten Teile. Darüber hinaus ermöglicht unsere Lösung eine vollständige Kontrolle der Lieferkette, um eine hohe Produktzuverlässigkeit und lange Haltbarkeit zu gewährleisten.

Zur Unterstützung unserer metallfreien Poliersysteme haben wir folgende Produkte entwickelt:

  • U-PUR. Der kompakteste metallfreie Reaktor für die UPW-Produktion (UV-Oxidation / Katalysator / Polier-Mischbett).
  • UPW-Pumpen. Die neue Generation von nichtmetallischen Pumpen, die speziell für UPW-Anwendungen entwickelt und hergestellt wurden.
  • CFHA Patronenfiltergehäuse. Die ultimativen metallfreien Patronenfiltergehäuse für den UPW-Polierschritt.

Diese Produkte minimieren die benetzte Oberfläche von Edelstahl (SS) innerhalb des UPW-Poliersystems.

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Und so funktioniert es

Während herkömmliche Poliersysteme in erheblichem Umfang elektropolierte Edelstahlausrüstung umfassen, eliminieren unsere UPW-Pumpen und mit U-PUR-Fluorpolymer ausgekleideten Ionenaustauschbehälter, die eine UV-Behandlung integrieren, den Großteil der benetzten Metalloberflächen.

Metallfreie Pumpen sind auf dem UPW-Markt nicht neu. Neu sind die hohen Durchflussraten, die mit den UPW-Pumpen von Ovivo erzielt werden. Diese hochreinen, metallfreien Pumpen wurden so konstruiert, dass alle benetzten Oberflächen aus hochreinem PVDF bestehen. Durch den Austausch der 316L SS-Laufräder durch hochreine PVDF-Laufräder werden leitfähige Partikel aus dem Prozessstrom entfernt, die bei Betriebsunterbrechungen, Pumpenwartungen oder Dichtungsreinigungen entstehen können.

Der innovative metallfreie U-PUR-Reaktor ist in der Lage, TOC- und H2O2Spuren zu entfernen und Wasser zu produzieren, das weitaus reiner ist als bei herkömmlichen Systemen. Das Design ist eine wartungsfreundliche Lösung, die Rohrleitungen überflüssig macht und somit das Risiko einer Kontamination durch Metallkontakt verringert. Das Produkt U-PUR kombiniert die UV-Reaktoren mit dem Mischbett, um die benetzte Oberfläche von Edelstahl zu entfernen. Dies stellt einen bedeutenden Fortschritt in der UPW-Bereitstellung dar und ermöglicht es dem System, eine deutlich höhere Wasserqualität zu liefern.

Die Modelle CFEHA (Patronenfiltergehäuse gemäß europäischer Norm mit Halar-Innenbeschichtung) und CFAHA (Patronenfiltergehäuse gemäß ASME mit Halar-Innenbeschichtung) sind die optimale Wahl für die spezifischen Anforderungen von UPW-Anwendungen. Beide Modelle werden vor dem Auftragen der Halar-Beschichtung innen und außen gebeizt und passiviert. Diese hochmodernen Filtergehäuse bestehen aus hochleistungsfähigem 316L SS und alle benetzten Oberflächen sind mit Fluorpolymer ausgekleidet. Dadurch wird sichergestellt, dass UPW niemals mit freiliegendem Metall in Kontakt kommt, was ideal für die Nanotechnologie-Fertigung ist.


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Semi Conductor with Ovivo and Ecolab Logos


Erfahrene Partner für die Reinstwasserbehandlung

  • Jahrzehntelange Entwicklung von Anwendungen zur Reinigung von ultrareinem Wasser
  • Kontinuierliche Innovation und umfangreiches Sortiment an Produkten zur Reinigung von Reinstwasser
  • Umfassende Erfahrung in der Unterstützung unserer Partner in allen Phasen der Reinstwasserproduktion
  • Bekannt für zuverlässige, langlebige und hochwertige Systeme
  • Fundierte Kenntnisse über Wasserbehandlung und Technologien in der Elektronik- und Halbleiterindustrie

Ovivo Reinstwasser von Ecolab

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