Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

UPW-Pumpen

Einzigartige, spezialisierte Pumpenmodelle für die Aufbereitung von hochreinem Wasser und Wasser für die Halbleiterfertigung

Die Pumpen Ovivo Ultra-Pure Water+ Pumpen by Ecolab – eine neue Generation nicht-metallischer Hochreinpumpen für Anwendungen mit ultrareinem Wasser (UPW) – werden nach den strengsten Halbleiterstandards entwickelt und gefertigt, um die aktuellen und zukünftigen Anforderungen des International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) zu erfüllen.

Die nicht-metallische Bauweise unserer UPW-Pumpenmodelle NPC und NP macht diese Systeme ideal für den Einsatz in den Endpolierbereichen von UPW-Anlagen sowie in hochmodernen Halbleiterfertigungsanlagen.

Angaben zur Anlage

Wir bieten einzigartige, hochspezialisierte nicht-metallische Pumpenmodelle NP und NPC an, die eine optimale Lösung für Ihre UPW-Produktionsanlage darstellen. Ovivo by Ecolab UPW-Pumpen zeichnen sich durch folgende Merkmale aus:

  • Hochwertige Materialien (PVDF-HP, SiC, E-CTFE) für maximale Reinheit
  • Alle in Kontakt mit Flüssigkeit kommenden Teile werden nach Halbleiterstandards gereinigt.
  • Spitzenleistungen mit großem Durchfluss- und Druckbereich
  • Entwickelt für kalte und heiße Prozesse und geeignet für einen großen Temperaturbereich von -20 bis 110 °C (-4 bis 230 °F)
  • Längere Lebensdauer und Wartungsfreundlichkeit durch einfache Montage und Demontage

Hochreine metallfreie Materialien

Alle Pumpen müssen regelmäßig gewartet werden, gefolgt von einer Nachspülung, bevor sie wieder in Betrieb genommen werden können. Während des Spülvorgangs setzen herkömmliche Pumpen jedoch häufig Partikel frei, die mit hoher Geschwindigkeit ausgespült werden müssen – ein Prozess, der selbst dazu führen kann, dass Partikel das Verteilungssystem kontaminieren. Obwohl Partikel nicht vollständig entfernt werden können, lassen sich leitfähige Partikel herkömmlicher Pumpen aus dem Prozessstrom eliminieren, indem die 316l-Edelstahllaufräder durch PVDF-HP-Laufräder ersetzt werden – eine der Hauptmerkmale der UPW-Pumpen von Ovivo. Etwaige vorhandene Partikel wären daher inert, wodurch das Risiko von Ausfällen leitfähiger Bauelemente während der Pumpenwartung, bei möglichen Lecks oder bei Pumpenausfällen minimiert wird.

Unsere Gleitringdichtungen (stationäre und rotierende Dichtungsringe), die speziell für unsere nicht-metallischen Pumpen entwickelt wurden, bestehen aus Siliziumkarbid (SiC). Zusätzlich ist die Feder mit einem Fluorpolymer beschichtet. Zusammen bieten sie überlegene Korrosions- und Verschleißbeständigkeit, gewährleisten maximale Betriebssicherheit und eine lange Lebensdauer und sind dabei einfach zu montieren, demontieren und zu warten.

Durchfluss | m3/h (gpm) NPC-Modell: bis zu 120 (528)
NP-Modell: bis zu 250 (1.100)
Förderhöhe | m (ft) NPC-Modell: bis zu 90 (295)
NP-Modell: bis zu 100 (328)
Nenndruck PN10
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Flüssigkeitstemperatur | °C (°F)
-20...+100 (-4...+230)
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Pumpengehäusematerial
PVDF oder PVDF-HP
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Laufradmaterial PVDF oder PVDF-HP
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Wellenhülsenmaterial Edelstahl (1.4571) mit Fluorkunststoffbeschichtung
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Gleitringdichtung Dichtringe: EKasic C (SiC)
Feder: fluorkunststoffbeschichtet
(sowohl für NPC- als auch für NP-Modelle)
Ecolab Ovivo™ Ultrapure Water Treatment Systems

Und so funktioniert es

Die UPW-Pumpen von Ovivo by Ecolab sind so konzipiert, dass metallische und oxidierbare Partikel durch den Einsatz hochwertiger und zuverlässiger Materialien aus dem System eliminiert werden.

  1. Hocheffizientes PVDF-HP-Laufrad (geringer NPSH-Bedarf und unbeeinflusst durch Rückwärtsdrehung)
  2. Vakuumbeständiges PVDF-HP-Gehäuse mit Wandstärken von mehr als 10 mm (0,4 Zoll) für hervorragende Verschleißreserve
  3. Panzergehäuse aus robustem Metall, ausgelegt für alle zulässigen Systemdrücke und Rohrleitungsbelastungen
  4. Rotierender Dichtungsring, mit größerem Außendurchmesser konstruiert, um den Randdruck effektiv auszugleichen, und fest am Wellenmantel arretiert
  5. Rotierende und stationäre Dichtungsringe aus Ekasic® C (fortschrittliches SiC für maximale Abriebfestigkeit) gefertigt
  6. Stationäre O-Ringe mit definiertem Vorspannungswert
  7. Dynamischer O-Ring verhindert das Austreten von Flüssigkeit in die Umgebung (optimal und zuverlässig positioniert)
  8. Cr-Ni-Mo-Wellenhülse mit Fluorpolymerbeschichtung (fest an der Welle arretiert)
  9. Mit Fluorpolymer (E-CTFE) beschichtete Feder, außerhalb des Förderstroms positioniert


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  • Jahrzehntelange Entwicklung von Anwendungen zur Reinigung von ultrareinem Wasser
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  • Fundierte Kenntnisse über Wasserbehandlung und Technologien in der Elektronik- und Halbleiterindustrie

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